صواني أشباه الموصلات RSiC ذات ثلاثة أعمدة وحاملات الرقاقة مقاس 12 بوصة
في صناعة أشباه الموصلات، يلعب حامل رقاقة 12 بوصة دورًا محوريًا في خطوط إنتاج الرقائق السيليكونية بقياس 12 بوصة (300 مم). يعمل حامل رقاقة RSiC هذا كمكون استهلاكي عالي الأداء مدمج في معدات معالجة السيليكون الحالية بقياس 12 بوصة، وخاصةً في أفران الانتشار الرأسي. مصنوع من كربيد السيليكون عالي النقاء، يتميز حامل رقاقة كربيد السيليكون المُعاد تبلوره هذا بخصائص أداء استثنائية.
1. قوة استثنائية في درجات الحرارة العالية: يحافظ حامل الرقاقة مقاس 12 بوصة على السلامة الميكانيكية حتى في درجات حرارة تتجاوز 1650 درجة مئوية، مما يمنع التشوه مع دعم الرقاقات الثقيلة مقاس 12 بوصة بأمان.
2. استقرار حراري فائق ومقاومة للصدمات: يتحمل حامل رقاقة RSiC دورات تسخين وتبريد سريعة للغاية دون حدوث تشقق، مما يؤدي إلى تقصير دورات العملية بشكل كبير وتعزيز القدرة الإنتاجية.
3. نقاء عالي للغاية وتلوث منخفض: يحتوي حامل رقاقة كربيد السيليكون المعاد بلورته على الحد الأدنى من الشوائب المعدنية، وتلوث أقل من الكوارتز، مما يجعله مثاليًا للعمليات المتقدمة الحساسة للشوائب.
4. الموصلية الحرارية العالية: يعمل حامل الرقاقة مقاس 12 بوصة على تعزيز توزيع درجة الحرارة بشكل موحد داخل أنبوب الفرن، مما يحسن اتساق العملية.
تشمل قدراتنا التصنيعية حاملات البلاط، وحاملات الرقاقات ثلاثية الأعمدة، وحاملات الأعمدة الأربعة. تُستخدم حلول حاملات الرقاقات RSiC هذه على نطاق واسع في صناعات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية، وهي مناسبة بشكل خاص لعمليات الأكسدة وزرع الأيونات ذات أحجام الرقاقات الصغيرة.
المعايير الفنية للمواد
صناعات أشباه الموصلات/الطاقة الكهروضوئية | RSiC |
نقاء كربيد السيليكون (%) | 99.9-99.99 |
الكثافة الظاهرية (جم/سم3) | 2.65-2.75 |
المسامية الظاهرة (%) | 15-16 |
قوة درجة حرارة الغرفة (ميجا باسكال) | 90 |
القوة عند 1300 درجة مئوية (ميجا باسكال) | 100 |
قوة اتصال الجسم المتكلس (ميجا باسكال) | 25 |
تفاصيل المنتج
حامل رقاقة كربيد السيليكون المعاد تبلوره
يُصنع حامل رقاقة كربيد السيليكون المُعاد تبلوره باستخدام ركيزة كربيد السيليكون عالية النقاء من خلال تقنية التلبيد بإعادة التبلور. يتكامل حامل رقاقة RSiC هذا مع أسنان وأخاديد دقيقة التصنيع، مما ينتج عنه أسطح ناعمة وخالية من النتوءات.
صُمم هذا الحامل للرقاقة بقطر 12 بوصة خصيصًا لقطاعات التصنيع التي تتطلب نظافةً واستقرارًا فائقين، بما في ذلك أشباه الموصلات، والخلايا الكهروضوئية، ومصابيح قاد. وتتمثل وظيفته الأساسية في دعم رقائق السيليكون بأمان وثبات. ويُستخدم هذا الحامل المتطور للرقاقة المصنوع من كربيد السيليكون المقاوم للتآكل (RSiC) على نطاق واسع في عمليات حيوية مثل الترسيب الكيميائي للبخار (أمراض القلب والأوعية الدموية)، والانتشار الحراري، والتلدين في درجات حرارة عالية.
التعبئة والتغليف
خدمتنا
تقدم شركة رايزبورت جلوبال تريدرز المحدودة (شنيانغ) خدمات تصنيع المعدات الأصلية (الشركة المصنعة للمعدات الأصلية) وتصنيع التصميم الأصلي (التصميم الأصلي)، ومراقبة الجودة طوال العملية، وتلقي ملاحظات فورية حول تقدم الطلبات، والاستشارات الفنية الاحترافية، والاستجابة السريعة لمشاكل ما بعد البيع. كما نقدم حلولاً لوجستية دولية مخصصة لتمكين عملائنا من خلال التحديثات التكنولوجية وتحسين سلسلة التوريد، مما يضمن راحة بال عملائنا العالميين من الشراء إلى التطبيق.
