أنبوب فرن أشباه الموصلات عالي النقاء RSiC
وصف المنتج
يعتمد فرن أشباه الموصلات، وهو حجر الزاوية في تصنيع الرقائق الحديثة، على مكون أساسي بالغ الأهمية: أنبوب فرن RSiC. يُعدّ هذا الأنبوب عالي النقاء، المصنوع من كربيد السيليكون، جوهر أفران الانتشار والأكسدة الرأسية أو الأفقية. داخل هذا الأنبوب، تخضع الرقاقات على حاملات متخصصة لعمليات دقيقة عالية الحرارة في أجواء مُتحكم بها. وبصفته منصة لا غنى عنها في درجات الحرارة العالية، يُعدّ أنبوب فرن RSiC محوريًا في عمليات أشباه الموصلات الرئيسية، بما في ذلك الأكسدة الحرارية، والانتشار، وLPCVD، والتلدين، مما يوفر تجانسًا واستقرارًا وقدرة إنتاجية لا مثيل لها.
خصائص أنبوب فرن RSiC
يؤدي استخدام مواد كربيد السيليكون في معدات أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية إلى تحقيق العديد من المزايا الحاسمة:
استقرار استثنائي في درجات الحرارة العالية: قادر على التشغيل لفترات طويلة في بيئات تتجاوز 1600 درجة مئوية، مع تحمل قصير المدى يصل إلى 1800 درجة مئوية.
مقاومة فائقة للصدمات الحرارية: إن الجمع بين الموصلية الحرارية العالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض يسمح لأنبوب فرن كربيد السيليكون بتحمل دورات التسخين والتبريد السريعة دون حدوث أي ضرر.
خمول كيميائي متميز: يتميز بمقاومة ممتازة للتآكل الناتج عن الأحماض والقلويات والغازات المختلفة المستخدمة في العمليات، مما يضمن نقاء العملية.
قوة وصلابة ميكانيكية عالية: تحافظ على سلامة البنية وتقاوم التشوه تحت الأحمال الحرارية والميكانيكية العالية، مما يضمن المتانة على المدى الطويل.
توزيع المجال الحراري الموحد: تم تصميمه للحفاظ على ملف درجة حرارة ثابت للغاية، مع الحد الأدنى من تدرج الجدار، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق توحيد العملية عبر جميع الرقائق.
المميزات والفوائد
مقاومة درجات الحرارة القصوى: تضمن الأداء وطول العمر في العمليات الحرارية الأكثر صعوبة.
قدرة الدورة الحرارية السريعة: يمكن لأنبوب الفرن RSiC القوي التعامل مع معدلات تسخين وتبريد عدوانية، مما يعزز الإنتاجية ويقلل من أوقات الدورة.
الموصلية الحرارية العالية: تضمن نقل الحرارة بكفاءة وبيئة حرارية مستقرة وموحدة داخل أنبوب فرن كربيد السيليكون.
سلامة هيكلية فائقة: توفر دعمًا موثوقًا به وخاليًا من الترهل للقوارب الرقيقة على مدار عمر الخدمة الطويل.
مقاومة ممتازة للتآكل والتآكل: توفر الحماية ضد المواد الكيميائية العدوانية والتآكل الجوي، مما يقلل من توليد الجسيمات والتلوث.
المعلمة الرئيسية
صناعة معدات الأفران ذات درجات الحرارة العالية | RSiC |
محتوى كربيد السيليكون (%) | ≥99% |
الكثافة الظاهرية (جم/سم3) | 2.65~2.75 |
المسامية الظاهرة (%) | أقل من 17 عامًا |
قوة درجة حرارة الغرفة (ميجا باسكال) | 90~100 |
قوة 1300 درجة مئوية (ميجا باسكال) | 100-110 |
معامل المرونة عند 20 درجة مئوية | 240 |
الموصلية الحرارية عند 1200 درجة مئوية (وات/متر كيلفن) | 36 |
التمدد الحراري x10-6/درجة مئوية | 4.6 |
أقصى درجة حرارة للاستخدام (℃) | 1650 درجة مئوية |
الصلابة عند 20 درجة مئوية (كجم/مم2) | 2000 |
صلابة الكسر عند 20 درجة (ميجا باسكال)1/2) | 2.0 |
تفاصيل المنتج
في صناعة أشباه الموصلات، يُعد أنبوب فرن كربيد السيليكون عالي النقاء (RSiC) الوعاء الأساسي للمعدات عالية الحرارة. يُوفر هذا الأنبوب بيئة محكمة الغلق وموحدة وخالية من الملوثات، وهو أمر أساسي لمعالجة الرقاقات.
الوظائف الأساسية:
لإيواء الرقائق (المحملة على قوارب الرقائق) وتسهيل الخطوات الحرجة ذات درجات الحرارة العالية مثل الانتشار والأكسدة والتلدين وترسيب الأغشية الرقيقة.
لتوفير حاوية محكمة الغلق، يسمح أنبوب الفرن RSiC بالتحكم الدقيق في تدفق وتوزيع الغازات التفاعلية (على سبيل المثال، O₂، N₂).
تضمن الخصائص الاستثنائية لأنبوب فرن RSiC اتساق العملية وتعظيم العائد، وهي أساسية لإنتاج أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة.
التعبئة والتغليف
ميزتنا
تُركز شركة رايزبورت جلوبال تريدرز المحدودة (شنيانغ) على منتجات كربيد السيليكون (كربيد السيليكون)، وقد بنت نموذجًا لخدمات التجارة العابرة للحدود لسلسلة صناعة كربيد السيليكون بأكملها من خلال تكامل الموارد. تتمتع الشركة بميزة تنافسية في تغطية جوانب متمايزة من سلسلة الصناعة بأكملها، ودمج توريد المواد الخام، وتخصيص المنتجات، وغيرها من الروابط. ومن خلال نظام الشراء المركزي، تُقلل الشركة التكاليف الهامشية وتحقق استجابة سريعة، مما يُحسّن الكفاءة ويُوفر التكاليف على المشترين. كما تُقدم خدمات منتجات مُخصصة لتلبية احتياجات العملاء المختلفة، مع توفير الخدمات اللوجستية والجمارك والتسوية وغيرها من الروابط، وتوفير عمليات متكاملة وخدمات مُريحة.
