يجب أن يلبي أنبوب الفرن شبه الموصل (مثل تلك المستخدمة في أفران الانتشار وأفران الأكسدة وما إلى ذلك) متطلبات صارمة مثل النقاء العالي للغاية واستقرار درجات الحرارة العالية ومقاومة الصدمات الحرارية. لقد أصبح أنبوب الفرن RSiC مادة رئيسية بسبب خصائصه الممتازة. نقاء الجسم المتكلس أعلى من 3N، ودقة المعالجة 0.01 مم.
بريد إلكترونيأكثر
أنبوب فرن RSiC: يُعد أنبوب فرن كربيد السيليكون المُعاد تبلوره مكونًا أساسيًا في معدات تصنيع أشباه الموصلات، ويُستخدم بشكل رئيسي في غرف المعالجة عالية الحرارة (مثل النمو الفوقي، وزرع الأيونات، وفرن الانتشار، وما إلى ذلك). نقاء الجسم المُلبَّد أعلى من 3 نيوتن، ودقة المعالجة تصل إلى 0.01 مم، مما يُلبي متطلبات النقاء الفائق، ومقاومة التآكل، ودقة الحجم.
بريد إلكترونيأكثر
