أنابيب الفرن وملحقاتها

يجب أن يلبي أنبوب الفرن شبه الموصل (مثل تلك المستخدمة في أفران الانتشار وأفران الأكسدة وما إلى ذلك) متطلبات صارمة مثل النقاء العالي للغاية واستقرار درجات الحرارة العالية ومقاومة الصدمات الحرارية. لقد أصبح أنبوب الفرن RSiC مادة رئيسية بسبب خصائصه الممتازة. نقاء الجسم المتكلس أعلى من 3N، ودقة المعالجة 0.01 مم.

يعتبر برميل عزل غرفة الفرن مكونًا رئيسيًا للحقل الحراري يستخدم في عمليات تصنيع أشباه الموصلات مثل نمو السيليكون أحادي البلورة والمعالجة الحرارية للرقاقة. يجب أن يلبي برميل العزل متطلبات درجات الحرارة العالية للغاية والنقاء العالي والعزل الحراري الممتاز.

لوحة الدرع الحراري للفرن هي المكونات الأساسية لأشباه الموصلات عالية الحرارة، والطاقة الكهروضوئية. لوحة الدرع الحراري RSiC معدات التلبيد المواد الجديدة. تتميز لوحة الدرع الحراري RSiC بمقاومة درجات الحرارة العالية وفقدان الحرارة المنخفض وعمر الخدمة الطويل.

يعد مجداف الكابولي المصنوع من كربيد السيليكون المعاد تبلوره مكونًا سيراميكيًا عالي الأداء، يستخدم بشكل أساسي في الصناعات مثل الصناعات الكيميائية والمعادن وحماية البيئة وأشباه الموصلات نظرًا لمقاومته الفائقة لدرجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل ومقاومة التآكل والاستقرار الجيد للصدمات الحرارية.

أنبوب فرن RSiC: يُعد أنبوب فرن كربيد السيليكون المُعاد تبلوره مكونًا أساسيًا في معدات تصنيع أشباه الموصلات، ويُستخدم بشكل رئيسي في غرف المعالجة عالية الحرارة (مثل النمو الفوقي، وزرع الأيونات، وفرن الانتشار، وما إلى ذلك). نقاء الجسم المُلبَّد أعلى من 3 نيوتن، ودقة المعالجة تصل إلى 0.01 مم، مما يُلبي متطلبات النقاء الفائق، ومقاومة التآكل، ودقة الحجم.